1.必須檢查以確定每道工序所需的真空度。因為每一種工藝都有其合適的真空范圍，所以必須仔細研究和確定。
2.在確定工藝所需真空的基礎上，檢查低溫循環泵的極限真空度，因為系統的極限真空度決定了系統的工作真空度。一般而言，系統的極限真空度比系統的工作真空度低20％，并且比備用泵的極限真空度低50％。
4.檢查以確定達到所需循環的時間、管路的流動阻力和泄漏情況。考慮在達到要求后，在一定的工藝要求下保持循環泵所需的抽送速率。
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